多次打破國(guó)際技術(shù)封鎖
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中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司
以高真空、超高真空、超潔凈真空技術(shù)為基礎(chǔ),主要研發(fā)生產(chǎn)各類薄膜材料制備設(shè)備、納米材料制備設(shè)備、真空冶金設(shè)備、單晶爐、太陽(yáng)能光伏設(shè)備、集成電路裝備、大科學(xué)工程裝備、無(wú)油真空獲得(干式真空泵)及系統(tǒng)集成。